簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="化學機械研磨廢水"


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    半導體工廠化學機械研磨廢水之處理研究
    • /94/ 碩士
    • 研究生: 李保羅 指導教授: 劉志成
    • 化學機械研磨是目前能夠將250奈米以下製程的8吋晶圓完全平坦化的技術。然而,此程序消耗大量的超純水,即產生大量難以處理之廢水。本研究利用PDA2000來觀察不同高分子對於膠羽在雙重混凝程序中的影響。…
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